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      1. 關于愛發科真空泵油的幾點工作原理

        日期:2020-12-09?

               無油干式愛發科真空泵油(也稱為干式機械泵)是指該泵可以在大氣壓下開始泵送,并且可以直接泵送到大氣中的氣體 ,泵腔內沒有油或其他工作介質,并且泵的極限壓力與油封真空泵的極限壓力相同或接近。

               目前,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用愛發科真空泵油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器;其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。
              對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。
              愛發科真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

        1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
        2、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
        3、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
        4、半導體刻蝕工藝,在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
        5、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求



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